新产品 | 株式会社BBS金明

新产品介绍

 

 

半導体関連

Edge Polishing System E-300/450 Prime【Ver2.0】

实现了“高品质”、“高效率”、“低耗能”的硅片边缘抛光新产品。
利用离心力的一单元加工方式,让加工部紧贴硅片边缘实行均一施力加工,从而实现3面同时抛光,全体边缘状况和ERO都得到了均一的控制。

 

 

 

 

Ball Joint System

独自开发的BALL JOINT SYSTEM(球接系统)在定位方面具有压倒性优势。
实现高夹持精度,高稳定性的确保晶体方向。

 

【Ball Joint Bonder】

加工类似单晶体蓝宝石玻璃的脆性材料时,需要对夹具进行精准矫正,BBS金明利用2轴全自动化技术,实现了夹持工件之后,加工时工件严格围绕结晶轴旋转,而且可以任意调整加工的偏移角度。球接接头的优势在于,对圆筒状工件的两端面平行度没有严格要求,这样就大大消减了前道工序的时间。

 

 

 【Cylindrical/OF Grinder】

采用球接系统避免了对工件夹持面状态的依赖,而且可以稳定的高精度的确定晶向。前道工序无须对工件两端面加工的革命性的改良,加上采用两面同时研磨的工艺,大大缩短了整体工序的时间。

 

 

 

 

Square Edge Polishing System

CMP研磨加工对品质达到了埃米级别,本设备正是基于这种要求,对类似Photo Mask的长方体形状的工件边缘加工的设备。运送、加工均是采用边缘固定的方式,最大程度上降低了对工件表面上造成不可预知损害的可能性。可加工各种尺寸工件,并且针对工件加工部分的端面、倒角、边角、切削痕迹等各部位可自由调整加工工艺。

 

 

 

 

太阳能相关设备

Twin Grind Polish【TGP700】

用于太阳能电池生产的新型硅锭研磨系统,一经发售,销量方面就具有压倒性优势。
客户的订单络绎不绝,是对提高单晶硅生产效率的最佳选择。
研磨的下道工艺---切片,对硅锭长度的要求也逐年增大,BBS金明的研磨系统可最大加工700mm长度的硅锭。