半导体相关设备 | 株式会社BBS金明

基于客户的厚爱，市场上卖的最好的硅片边缘抛光机。
分为4个抛光部的结构兼顾了加工的高稳定性和高效率，并且实现了空间上的节省。我们根据客户的不同规格需求，按照加工硅片的尺寸来分类，提供如下5种硅片边抛机： 4寸、6寸、8寸，6寸/8寸兼容、12寸。
而且，基于硅片加工技术，对蓝宝石玻璃、SiC、LT等脆性材料均可进行高效率高品质的边缘抛光。

拥有广大客户群的高品质硅片边缘抛光机。基于对洗净品质的不同要求，客户可选择“刷子洗净”或者“2种流体洗净”的方式。利用Load Port方式，实现设备的高密闭性，减少粉尘污染，符合客户工艺的最严苛的要求。

拥有广大客户群的高品质硅片边缘抛光机。通过硅片运送方法的大幅改良，最优化了工艺，实现了高生产效率。为了满足高品质洗净的要求，设备搭载SC-1洗净机，同时利用Load Port方式，实现设备的高密闭性，减少粉尘污染，符合客户工艺的最严苛的要求。